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Mikrosysteme nutzen heute in großem Umfang Nanostrukturen, um Sprünge in der Leistungsfähigkeit oder gänzlich neuartige Funktionen zu erreichen. Viele innovative Ideen aus der universitären Forschung haben Eingang in die industrielle Umsetzung gefunden. Dies sollte Motivation sein, auch weiterhin Ideen für funktionale Nanostrukturen in Mikrosystemen zu erforschen und in Anwendungen zu evaluieren. Der Workshop bietet die ideale Gelegenheit, Ideen und Konzepte vorzustellen und zu diskutieren. Unsere Keynotes präsentieren anschauliche Beispiele für eine erfolgreiche Transformation von Forschungsergebnissen in industrielle Anwendungen.