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Funktionale Nanostrukturen in smarten MikrosystemenNanostrukturen, die in Mikrosysteme integriert werden können, liefern wichtige Beiträge, indem sie- elektronische Komponenten verkleinern,- neue Funktionalitäten ermöglichen,- Eigenschaften wesentlich verbessern,- Sensoren empfindlicher oder selektiver werden lassen,- den Energiebedarf senken,- und bei der Systemintegration und der AVT helfen.Für die industrielle Nutzung gilt es, wichtige Fragen zu klären:- Wie werden Nanostrukturen ins Mikrosystem integriert?- Welche Fertigungsverfahren werden genutzt?- Wie stabil sind sie unter realen Einsatzbedingungen?- Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert und ihre Qualität sichergestellt werden?- Wie können die Chancen der Mikro-Nano-Integration Kunden und Mitarbeitern vermittelt werden?Neben Mikrosensorik und AVT rücken neue Technologien wie die 2D-Elektronik in den Fokus, die die Integration komplexer Systeme auch auf Folien und Gläsern ermöglichen.